主要的涂层工艺
PVD法有两种主要的工艺,可用于在不同的基体上进行涂层:一种是电弧法(电弧放电);另一种是溅射法(阴极溅射)欢迎www.cnbianmin.com。这两种方法都有一个额外的优点:涂层炉比较容易建造。
电弧法是通过电源的放电(很像是一道闪电)击中涂层材料,并将这种材料由固体转换为液体,再转换为气体状态。该工艺的优点是沉积率高(相对于溅射法而 言)c+n+b+i+a+n+m+i+n+c+o+m。但是,由于涂层材料处于三种形态(固态、液态和气态),因此有可能会产生一些液滴(微小的液体颗粒)。这些液滴不会转换为气态。
溅射法是采用一个加热源,将固体涂层材料直接转换为气体状态中国便民网www.cnbianmin.com。由于涂层材料跳过了液化阶段,因此不会产生液滴。但是,由于该工艺沉积率较低(相对于电弧法),因此生产周期较长。
硬质材料涂层
大部分硬质材料(涂层也是一种硬质材料)都是由一种金属和一种非金属构成中+国+便+民+网。例如,一些常见的硬质涂层包括氮化钛(TiN)、氮碳化钛(TiCN)、
氮 铝钛(TiAlN)、氮钛铝(AlTiN)和氮铬铝(AlCrN)。元素周期表显示了有可能成为候选涂层材料的金属和非金属元素。
在涂层过程中,体积较小的非金属元素涂覆TiN时为氮(N)嵌入到金属钛(Ti)的晶格空缺中www.cnbianmin.com中国便民网。当沉积TiCN时,则由碳(C)部分取代了一些氮(N)。按照同样的原理,也可以确定沉积其他涂层所需要的金属和非金属元素。
这是PVD工艺的优势之一中.国.便.民.网。由于金属材料在PVD涂层炉中为固态(而CVD工艺则需要引入气态金属),因此,几乎任何金属都可以用于PVD涂层。当然,并不是所有金属都对改善刀具性能有益,但它们都能用于涂层。

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